隨著智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展以及各傳統(tǒng)行業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型，半導(dǎo)體元件需求高速增長。根據(jù) SIA（美國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會）數(shù)據(jù)，2021 年中國半導(dǎo)體銷售額為1925億美元，占全球總銷售額 34.6%，成為全球半導(dǎo)體增長主要驅(qū)動力。

對于處在發(fā)展快道的中國半導(dǎo)體企業(yè)而言，提升工藝水平與生產(chǎn)效率是提高競爭力的要點。

半導(dǎo)體生產(chǎn)對原材料、設(shè)備、工藝以及生產(chǎn)環(huán)境質(zhì)量有著極高要求，且生產(chǎn)流程復(fù)雜。比如，晶圓的生產(chǎn)需要先生產(chǎn)硅單晶棒，然后再進行切片、退火、倒角、研磨、拋光、清洗包裝等步驟；集成電路生產(chǎn)需要經(jīng)過制備薄膜、涂光刻膠、烘干、光刻、顯影、刻蝕、去膠、離子注入等步驟。

每項步驟都對精細控制有著極高要求，因此需要非常精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的電能供應(yīng)。一旦發(fā)生斷電或電壓暫降等問題，就可能中斷流程，導(dǎo)致產(chǎn)線上的半導(dǎo)體報廢；高精密設(shè)備需重新調(diào)試，甚至可能因此發(fā)生故障，造成巨大經(jīng)濟損失。

因此，穩(wěn)定供電是保障半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠平穩(wěn)運行、提高效率與良品率的重要因素。

不過，這并非易事。由于電網(wǎng)中接有各種非線性負荷，給電網(wǎng)系統(tǒng)帶來諧波等電能質(zhì)量問題。另外，基礎(chǔ)設(shè)施質(zhì)量、氣象災(zāi)害事件也可能引發(fā)電壓暫降甚至斷電。因此，半導(dǎo)體工廠需配置良好的電力基礎(chǔ)設(shè)施，精準(zhǔn)地監(jiān)測電能質(zhì)量，分析電能狀況，及時預(yù)警、保護等。

深圳市中電電力技術(shù)股份有限公司（以下簡稱“CET中電技術(shù)”）長期為半導(dǎo)體廠商提供軟硬件產(chǎn)品及服務(wù)，幫助提升半導(dǎo)體工廠的連續(xù)性和供電穩(wěn)定性，為半導(dǎo)體生產(chǎn)保駕護航。

CET中電技術(shù)創(chuàng)立于1993年，是首批國家級高新技術(shù)企業(yè)，現(xiàn)具備從智能用電管理到電氣火災(zāi)監(jiān)控的豐富產(chǎn)品線，并通過了全球軟件領(lǐng)域最高級別“CMMI5”認(rèn)證。

CET中電技術(shù)為長江存儲“國家存儲器基地”項目提供電力監(jiān)控系統(tǒng)，為北京集成電路示范線項目一期提供電力監(jiān)控系統(tǒng)和電氣火災(zāi)監(jiān)控系統(tǒng)，為奧特斯高科技ABF載板生產(chǎn)廠區(qū)提供智能用電管理系統(tǒng)。

變電所電力監(jiān)控系統(tǒng)可實現(xiàn)微機保護、全電量采集、電能質(zhì)量監(jiān)測、分時計費、故障診斷、波形瞬態(tài)捕捉、能源管理、智能化低壓電動機保護控制等功能，提高供配電系統(tǒng)的可靠性及自動化水平。

智能用電管理系統(tǒng)可實時監(jiān)控設(shè)備運行情況，實現(xiàn)電能質(zhì)量監(jiān)測、預(yù)警電力事故，減少事故損失，助力項目安全高效運行。

電氣火災(zāi)監(jiān)控系統(tǒng)具有剩余電流、溫度等電氣火災(zāi)危險信號預(yù)警、故障報警等功能，且滿足大容量存儲，幫助管理人員實時監(jiān)測分析，定位故障點，保障工廠安全運行。

目前，變電所電力監(jiān)控和智能用電管理系統(tǒng)整合為“CET半導(dǎo)體行業(yè)電力監(jiān)控與管理系統(tǒng)”，該系統(tǒng)是集中低壓配電監(jiān)控、電能質(zhì)量在線監(jiān)控、柴發(fā)監(jiān)控、UPS & AVC監(jiān)控、蓄電池監(jiān)控、光伏監(jiān)控、母線測溫多方位監(jiān)控等功能于一體的信息系統(tǒng)，可實現(xiàn)設(shè)備快速排障及預(yù)防性維護，保障關(guān)鍵設(shè)備穩(wěn)定運行，幫助工廠實現(xiàn)電能質(zhì)量分析、供配電系統(tǒng)綜合自動化、智能化用電管理、精細化能源管理等目標(biāo)。

CET中電技術(shù)也為半導(dǎo)體企業(yè)提供硬件裝置，其中，iMeter系列供配電異常信息捕捉及故障診斷分析裝置尤為出色。

早在2014年，iMeter系列就已經(jīng)出口德國，并在眾多大型項目中得到應(yīng)用。iMeter系列具有高精度計量、電能質(zhì)量在線監(jiān)測、供電系統(tǒng)局部故障診斷與定位等功能，特別適用于對供電質(zhì)量及供電可靠性具有高要求的場所。

通過該裝置結(jié)合CET DiagSys供配電系統(tǒng)故障診斷及分析軟件，CET生成供配電系統(tǒng)異?，F(xiàn)象捕捉及診斷解決方案，可根據(jù)異常發(fā)生時的電量特征捕捉及定位擾動源，并生成故障診斷分析報告，幫助管理人員洞悉供配電系統(tǒng)的健康狀態(tài)，預(yù)知風(fēng)險。這一方案已在青島芯恩集成電路研發(fā)生產(chǎn)項目得到大規(guī)模應(yīng)用。

除此之外，CET中電技術(shù)的電表、保護測控裝置也在半導(dǎo)體企業(yè)得到廣泛應(yīng)用。

CET中電技術(shù)還為中芯北方、華虹宏力、華星光電、福州京東方、成都中電熊貓，以及英特爾、英飛凌、LG、日月光、美光、南亞科、聯(lián)發(fā)科等企業(yè)提供產(chǎn)品服務(wù)，為其創(chuàng)造更安全可靠、節(jié)能環(huán)保的用電系統(tǒng)。